微分干涉LCD FPD測量顯微鏡 粒子分析

   測量顯微鏡主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè)，具有觀(guān)察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導電粒子大小、數量等功能。是一種兼顧影像與目視兩用的高精度、率測量?jì)x器。它具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統，是集光、機、電、算、影像于一體的測量型金相顯微鏡。該儀器用于電子組件、精密模具、精密刀具、塑料、PCB加工等方面，不僅可用作坐標測量，還可以目鏡標準分劃板作顯微放大比較測量，測量螺紋的節距、外徑、牙角等工件尺寸或外形輪廓，ACF導電粒子形狀和瑕疵觀(guān)察，除應用于長(cháng)度、角度測量外，還可作為觀(guān)察顯微鏡。是機械、電子、儀表、鐘表、輕工、塑料行業(yè)，院校、研究所和計量檢定部門(mén)的計量室、實(shí)驗室已經(jīng)生產(chǎn)車(chē)間檢測設備之一。

1. 符合人機工程學(xué)設計準則方便操作測量

2. 工作臺一鍵式氣動(dòng)單手快速移動(dòng)操作

3. 可實(shí)現Z軸自動(dòng)對焦

4. 具有偏光和DIC檢測功能

5. 采用被動(dòng)式減震裝置，提高整機精度穩定性

6. 測量軟件，高清晰1/2"彩色攝像機

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜工件的測量

8. 可實(shí)現高度輔助測量

9. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

10. 同軸光/底光測量

11. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度

測量顯微鏡工作原理如下圖所示，被測工件置于工作臺上，在底光或表面光照明下，它由物鏡成放大像，經(jīng)過(guò)分光與反射系統后，一路成像于目鏡分劃板上，人眼通過(guò)目鏡可觀(guān)察到一個(gè)放大的正像；另一路成像于彩色CCD上，攝像機攝取工件像后通過(guò)網(wǎng)口傳送至計算機及彩色液晶顯示器上，顯示出一個(gè)與工件*同向的放大清晰影像。我們可以通過(guò)目鏡或液晶顯示器對工件像進(jìn)行瞄準定位，通過(guò)數字測量系統：光柵尺與專(zhuān)業(yè)測量軟件對測量數據進(jìn)行數據處理，即光柵尺的信號與計算機主機通訊，供專(zhuān)業(yè)軟件進(jìn)行測量和數據處理。目視測量系統還可以利用目鏡分劃板上預先刻制好的標準圖形對工件進(jìn)行比較測量。底光照明光源與顯微鏡自帶表面光源，視工件的性質(zhì)兩種照明可分別使用，也可同時(shí)使用。

何謂ACF(異方性導電膠)：其特點(diǎn)在于Z軸電氣導通方向與XY絕緣平面的電阻特性具有明顯的差異性。當Z軸導通電阻值與XY平面絕緣電阻值的差異超過(guò)一定比值后，既可稱(chēng)為導電異方性。貼合工藝：導電粒子在黏合劑中均勻分布,互不接觸,加之有一層絕緣膜,ACF 膜是不導電的,當對ACF膜加壓、加熱后導電粒子絕緣膜破裂,并互相在有線(xiàn)路的部分(因為較無(wú)線(xiàn)路部分突起) 擠壓在一起,形成導通,被擠壓后的導電粒子體積是原來(lái)的3～4 倍(導電粒子體積不變，差別在于原本是球體狀，經(jīng)過(guò)熱壓后變成類(lèi)似圓餅狀，讓上下電極有更多的面積接觸到導電粒子),加熱使黏合劑固化,保持導通狀態(tài)。
        注意點(diǎn)：導電粒子的粒徑分布和分布均勻性亦會(huì )對異方導電特性有所影響。通常，導電粒子必須具有的粒徑均一性和真圓度，以確保電極與導電粒子間的接觸面積一致，維持相同的導通電阻，并同時(shí)避免部分電極未接觸到導電粒子，導致開(kāi)路的情形發(fā)生。常見(jiàn)的粒徑范圍在3~5μm之間，太大的導電粒子會(huì )降低每個(gè)電極接觸的粒子數，同時(shí)也容易造成相鄰電極導電粒子接觸而短路的情形；太小的導電粒子容易行成粒子聚集的問(wèn)題，造成粒子分布密度不平均。

在這邊要先說(shuō)明何謂微分干涉差系統：用四個(gè)的光學(xué)組件：偏振器（polarizer）、DIC棱鏡、DIC滑行器和檢偏器（analyzer）。偏振器直接裝在聚光系統的前面，使光線(xiàn)發(fā)生線(xiàn)性偏振。在聚光器中則安裝了石英Wollaston棱鏡，即DIC棱鏡，此棱鏡可將一束光分解成偏振方向不同的兩束光（x和y），二者成一小夾角。聚光器將兩束光調整成與顯微鏡光軸平行的方向。初兩束光相位一致，在穿過(guò)標本相鄰的區域后，由于標本的厚度和折射率不同，引起了兩束光發(fā)生了光程差。在物鏡的后焦面處安裝了第二個(gè)Wollaston棱鏡，即DIC滑行器，它把兩束光波合并成一束。這時(shí)兩束光的偏振面（x和y）仍然存在。后光束穿過(guò)第二個(gè)偏振裝置，即檢偏器。在光束形成目鏡DIC影像之前，檢偏器與偏光器的方向成直角。檢偏器將兩束垂直的光波組合成具有相同偏振面的兩束光，從而使二者發(fā)生干涉。x和y波的光程差決定著(zhù)透光的多少。光程差值為0時(shí)，沒(méi)有光穿過(guò)檢偏器；光程差值等于波長(cháng)一半時(shí)，穿過(guò)的光達到大值。于是在灰色的背景上，標本結構呈現出亮暗差。為了使影像的反差達到狀態(tài)，可通過(guò)調節DIC滑行器的縱行微調來(lái)改變光程差，光程差可改變影像的亮度。調節DIC滑行器可使標本的細微結構呈現出正或負的投影形象，通常是一側亮，而另一側暗，這便造成了標本的人為三維立體感，類(lèi)似大理石上的浮雕。

軟件功能：

1.   繪圖功能：可以畫(huà)點(diǎn)、畫(huà)線(xiàn)、畫(huà)圓、畫(huà)弧、畫(huà)并行線(xiàn)、畫(huà)垂直線(xiàn)、畫(huà)中分線(xiàn)、畫(huà)矩形、畫(huà)四邊形等復雜幾何圖形。
2.   多點(diǎn)取線(xiàn)、圓、弧功能：可選擇任意多的點(diǎn)畫(huà)圖增加測量準確度，還可得出線(xiàn)的真直度和圓的真圓度等數據。
3.   找交點(diǎn)功能：可以自動(dòng)捕捉線(xiàn)和線(xiàn)、線(xiàn)和圓或弧、圓和圓或弧等任意圖形的交點(diǎn)，方便測量需要。
測量功能：可測量線(xiàn)的長(cháng)度；圓的直徑、半徑；弧的直徑、半徑、掃描角度；點(diǎn)到線(xiàn)的垂直距離；圓到線(xiàn)的垂直距離；圓到圓的距離；并行線(xiàn) 間距；線(xiàn)排的Pitch間距；角度；兩點(diǎn)的線(xiàn)性距離等尺寸。
宏命令：可把上一次測量過(guò)程記錄下來(lái)，同樣的工件既可以調出來(lái)使用。一個(gè)命令即可完成上一個(gè)工件的全部操作，降低的軟件操作難度、提 高了測量速度。
6.   自動(dòng)檢測：可以自動(dòng)檢測工件上的線(xiàn)、圓、弧、并行線(xiàn)、角度等幾何圖形，還可以對工件進(jìn)行邊緣掃描?？焖俣鴾蚀_。
7.   十字線(xiàn)繪圖功能：可以用軟件上的十字線(xiàn)結合腳踏板繪圖、測量，降低操作難度，提高學(xué)習速度。
8.   自動(dòng)R角功能：可以根據工件上的邊線(xiàn)自動(dòng)作出和兩邊相切的R角，增加了測量速度和測量精度。
9.   標注功能：可標注所有測量尺寸方便拍照。
10. 編輯功能：可以任意移動(dòng)、復制、旋轉、鏡像、刪除、打斷、延伸所畫(huà)圓素，操作方便快捷，配合編輯功能可測量任意復雜
      幾何尺寸。
11. 拍照功能：可以隨時(shí)抓取工件照片及標注尺寸和所繪的圖形，可打印或發(fā)給他人遠程使用。
12. 儲存Word數據功能：可以隨時(shí)儲存測量數據到Word中，得出測量結果的質(zhì)量檢測報告，測量數據不用人工抄寫(xiě)，增加測量速
      度。
13. 儲存Excel數據功能：可以隨時(shí)儲存測量數據到中，得出測量結果的質(zhì)量檢測報告，測量數據不用人工抄寫(xiě)，增加測量
      速度,同時(shí)也可以做SPC數據分析。
14. 儲存DXF檔案功能：可將所畫(huà)工件的工程圖儲存為AutoCAD檔案，可用AutoCAD開(kāi)啟生成工件的工程圖紙。
 

終解釋:北京品智創(chuàng )思精密儀器有限公司