儀器簡(jiǎn)介：
 

應用：
◆薄膜厚度測量；
◆樣品表面形貌測量；
◆薄膜應力測量；
◆樣品表面粗糙度/波紋度測量；
◆樣品表面三維形貌測量等。

技術(shù)參數：
 

KLA-Tenco探針式臺階儀，可測量納米級至2毫米臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力，集高測量精度、多功能性和經(jīng)濟性于一體，是生產(chǎn)線(xiàn)及材料分析等應用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及分辨率,

主要特點(diǎn)：
 

◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡(jiǎn)便、快速，軟件具有保護測針以免發(fā)生損壞功能；
◆探針掃描是雙向的，即可以從左向右，又可以從右向左；
◆無(wú)論何時(shí)只要測針下伸的時(shí)間超過(guò) 60 秒，但仍然沒(méi)有開(kāi)始掃描，測針將自動(dòng)升起；
◆當測針達到其測量范圍的上*，測針自動(dòng)縮回，掃描終止；（備注：當測針達到其上*，屏幕上的跡線(xiàn)停止上升，而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見(jiàn)，可以用程序設置升降器，使其僅可以降低到一個(gè)預設的限制；
◆可為用戶(hù)提供中文操作界面，可以提供中文操作手冊；
◆軟件界面友好，簡(jiǎn)單易學(xué)，功能大。