產(chǎn)品名稱(chēng)：3D光學(xué)輪廓顯微鏡
產(chǎn)品型號：PZ-3010D
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：使用光學(xué)輪廓儀，集成了共聚焦計數和干涉測量技術(shù)，并具有薄膜測量能力，該系統可以用于標準的明場(chǎng)彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。

可用于標準的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。沒(méi)有移動(dòng)部件使其擁有堅固而緊湊的設計，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應用。極其簡(jiǎn)單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶(hù)獲得非?？斓臏y量速度，只需方便地切換適當的物鏡，調焦，并選擇適當的采集模式即可。

產(chǎn)品功能：

※共聚焦 
共聚焦輪廓儀可以測量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線(xiàn)的共焦成像系統，可提供高對比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過(guò)表面上的每一個(gè)點(diǎn)，以此找出每個(gè)像素位置的對應高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實(shí)現超高的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測量的理想選擇。高數值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測量斜率超過(guò)70°的光滑表面。neox具有*的光效，共聚焦算法可提供納米級的垂直方向重復性。超長(cháng)工作距離(SLWD)可測量高寬比較大、形狀較陡的樣品。