產(chǎn)品特點(diǎn)：

激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的突出特點(diǎn)：
一款的3D光學(xué)測量?jì)x
S neox整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。
和
LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
S neox的測量速度可以達到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過(guò)擴展測量模式整合
全自動(dòng)
測量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的主要技術(shù)參數：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結構
樣品高度：100mm ～ 345mm
樣品重量：30kg。
水平分辨率：0.44µm
垂直分辨率：10nm
掃描高度：22.5mm
擴展視野范圍：10000mm2
單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬(wàn)個(gè)測量點(diǎn)/秒
小測量高度：0.01µm
測量高度：22.5mm
測量范圍：10000mm2
測量形貌長(cháng)度：100mm
小可重復性：0.001µm
小測量粗糙度（Ra）：0.03µm
小測量粗糙度（Sa）：0.015µm
小測量半徑：1µm
小測量垂直角度：20°
大測量?jì)A斜角度：87°