產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量?jì)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統，可人工觀(guān)察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動(dòng)測量
4. 內建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無(wú)接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量分析顯微鏡技術(shù)規格參數：
型號 | PZ-3020MA | ||||
工作臺 | 金屬臺尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y軸運動(dòng)行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手動(dòng)Z軸行程(mm) | 120 | ||||
自動(dòng)Z軸行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
儀器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自動(dòng)Z軸分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長(cháng)度，單位mm) | ||||
物鏡放大倍數誤差 | 包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可調高亮度鹵素燈 | ||||
底光照明光源 | 可調高亮度LED燈源 | ||||
目視系統 | 影像系統 | ||||
物鏡放大倍數 | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |||
目鏡放大倍數 | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | |||
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |||
單層透明膜厚度測量模組 | |||||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | ||||
厚度測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm | |
測量軟件介紹：
(1) 測量元素種類(lèi)齊全：直接測量12種元素（點(diǎn)、直線(xiàn)、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開(kāi)云線(xiàn),閉云線(xiàn)）。測量閉合云線(xiàn)的周長(cháng)，面積及重心，使用三次插值算法，為目前準測量云線(xiàn)的方法。采樣點(diǎn)越多，越準確。
(2) *尋邊算法：確保尋邊準確無(wú)誤.亞像素尋邊，精度可達像素的1/10，專(zhuān)業(yè)的專(zhuān)家尋邊模式，或解決打了表面光之后，尋邊困難的問(wèn)題，通過(guò)各種尋邊算法的設置，可解決各種各樣的尋邊難題，從而準確的抓取邊界。有自動(dòng)去毛邊功能，對陰暗不明的邊界一樣可以準確的找出.
(3) 宏測量功能：宏測量功能就是，將一些測量，構造命令關(guān)聯(lián)到一個(gè)按鈕上。點(diǎn)擊按鈕，即開(kāi)始執行宏測量功能，宏測量功能會(huì )自動(dòng)完成構造動(dòng)作，減少用戶(hù)操作鼠標次數，提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能，用戶(hù)可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標。
(4) 強大的構造功能：軟件提供向導的構造功能，這是軟件的一大特色?？蛻?hù)想要什么結果,直接點(diǎn)擊相關(guān)按鈕，就可以自動(dòng)得到想要的結果.軟件提供了10種構造法（【平移】、【旋轉】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱(chēng)】、【相交】、【相切】）
(5) 的小R角測量算法：對于大半徑,小弧長(cháng)的R角，一直是測量界的測量難題，我公司經(jīng)過(guò)大量的實(shí)驗及算法優(yōu)化，終于創(chuàng )造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問(wèn)題.通過(guò)測量弧及弧相鄰的兩條切線(xiàn)，可解決這一難題.經(jīng)實(shí)踐,重復性可達0.01之內.
(6) 自動(dòng)判別測量(自動(dòng)識別線(xiàn)，圓，弧)：只要將鼠標放在工件的邊緣上，即可自動(dòng)尋邊得到線(xiàn)，圓或者弧.
(7) 顯示結果豐富：對各種元素的測量結果顯示﹐其信息量大﹐能滿(mǎn)足各種客戶(hù)的需要。并可設置哪些內容顯示,哪些內容不顯示﹐也可以單個(gè)元素進(jìn)行設置其顯示信息。也可對同類(lèi)元素進(jìn)行設置.
(8) 超差紅色警示：如果測量結果超差，會(huì )指示是哪項內容超差，并將該項顯示成紅色，對應的圖形也會(huì )變成紅色.
(9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率：下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率，屏幕放大倍率是由軟件自動(dòng)計算得到的，并能顯示一個(gè)像素相當于多少mm。
(10) 能建立多重工件坐標系：可根據圖紙建立多重工件座標系。實(shí)現各坐標系的座標變換；能方便地實(shí)現直角坐標系與極坐標系之間的相互轉換；能實(shí)現各工件坐標系的存儲和調用。建立座標系后，如果選擇了十字線(xiàn)旋轉功能，十字線(xiàn)會(huì )作旋轉，指示座標系的旋轉方向
(11) 建立用戶(hù)程序方便快捷：可以通過(guò)平移和旋轉建立的用戶(hù)程序。
(12) 編輯修改用戶(hù)程序,直觀(guān)方便：可以刪除，插入任一元素，包括座標系?？梢圆榭茨硞€(gè)元素的尋邊狀況，及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要，可以重新測量一個(gè)元素，以改變它的測量方法及環(huán)境。
(13) 機器自動(dòng)測量過(guò)程中可進(jìn)行手動(dòng)測量：如果客戶(hù)在測量某個(gè)，或某幾個(gè)元素時(shí)，希望手動(dòng)測量它，而不希望機器自動(dòng)去測，軟件可以輕松實(shí)現。軟件提供了斷點(diǎn)設置功能，可在要手動(dòng)測量的元素地方，設置斷點(diǎn)，則機器運行到該處時(shí)，會(huì )自動(dòng)停下來(lái)。
010-87681080
010-87681080
