表面粗糙度是一種微觀(guān)幾何形狀誤差,常用的儀器主要有影像測量?jì)x、光切顯微鏡、干涉顯微鏡及電動(dòng)輪廓儀等。
1、印模法:利用石蠟、低熔點(diǎn)合金或其他印模材料,壓印在被測零件表面,放在顯微鏡下間接的測量被測表面的粗糙度。這種方法適用于笨重零件及內表面。
2、比較法:利用影像儀將被測表面和表面粗糙度樣板直接進(jìn)行比較,多用于車(chē)間,評定表面粗糙度值較大的工件。
3、干涉法:是二次元測量?jì)x利用光波干涉原理,用干涉顯微鏡測量。
4、光切法:是測量?jì)x利用光切原理,用雙管顯微鏡測量。常用于測量Rz為0.5~60μm。
5、針描法:是指二次元利用觸針直接在被測表面輕輕劃過(guò),從而測出表面粗糙度。
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