測量金相顯微鏡如何校準誤差

測量金相顯微鏡是用于觀(guān)察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡，它具有穩定性好、成像清晰、分辨率高、視場(chǎng)大而平坦的特點(diǎn)。因其對被測物進(jìn)行既定性又定量地進(jìn)行分析，故對金相顯微鏡的校準工作。

    1、測量金相顯微鏡的溯源

    由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類(lèi)型、結構及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過(guò)不同的技術(shù)手段和方法，我們終可溯源到“單刻線(xiàn)樣板標準器組”和“0.01mm標準測微尺”標準器組。

    2、校準項目的設立

    (1)物鏡場(chǎng)曲

    將一物鏡安裝好，將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉調焦旋鈕，將焦點(diǎn)調整在測微尺的中間，視場(chǎng)中間成像清晰，此時(shí)將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉調焦旋轉，把焦點(diǎn)調整到測微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像清晰。觀(guān)察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差，其余物鏡以此類(lèi)推進(jìn)行校準。

    物鏡場(chǎng)曲誤差的指標如下：10X＜0.2mm、25X＜0.1mm、40X＜0.07mm、63X＜0.065mm、100X＜0.04mm

    (2)物鏡放大倍數的正確性

    裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒(méi)微尺放在工作臺上并壓緊。觀(guān)察時(shí)測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數的誤差。其余物鏡以此類(lèi)推進(jìn)行校校準，其誤差不大于5%

    (3)目鏡分劃板的準確度

    將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬(wàn)工顯工作臺上并調好焦距；調整工作臺，使分劃板的水平線(xiàn)與萬(wàn)工顯縱向導軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um。

    (4)物鏡成像清晰范圍

    用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進(jìn)行調焦，使成像清晰。當視場(chǎng)中間像清晰時(shí)，測得視場(chǎng)內的成像清晰范圍的誤差不低于60%

    (5)各物鏡相對于目鏡的格值

    裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺（使用隨機0.01mm測微尺）放在工作臺上并壓緊；調整測微尺標尺軸線(xiàn)與儀器目鏡分劃板標尺軸線(xiàn)平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線(xiàn)里包含測微尺n條刻線(xiàn)數，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類(lèi)推進(jìn)行校準。