三坐標測頭是通過(guò)本身的線(xiàn)位移或角位移產(chǎn)生瞄準信號的，位移量也限制在很小的范圍，如果超出該范圍將會(huì )使測頭損壞，因此測頭保護意識是控制系統的任務(wù)之一。

對于出發(fā)時(shí)測頭，控制系統有保護措施。當測頭運動(dòng)時(shí)，CPU不斷跟蹤x，y，z三個(gè)坐標值。若測端與工件接觸，測頭發(fā)出采樣信號。在中斷服務(wù)程序中，CPU不僅獨處x,y,z三個(gè)坐標的瞬時(shí)值，并將他們存入采樣換中去，而且同時(shí)停止插補運算，使坐標測量機停止運動(dòng)。CPU根據預先設定的后退速度與后退距離，按與原進(jìn)給相反的方向重新設定命令位置，控制伺服系統使測頭原進(jìn)給的路徑返回，移動(dòng)預定的后退距離后停止。用這種方法可以保證測端與工件接觸后只移動(dòng)一段很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端要能與工件接觸后只移動(dòng)很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端只要能與工件接觸，就一定是沿一個(gè)安全的測量軌跡進(jìn)給的，新詞按原軌跡回也就不會(huì )在與工件其他部分碰撞。