影像測量?jì)x是近十年來(lái)發(fā)展快速的幾何光學(xué)測量?jì)x器,它是一種基于光學(xué)投影原理,結合應用現代光電技術(shù)和計算機處理技術(shù), 

完成對試件邊緣輪廓進(jìn)行瞄準來(lái)實(shí)現長(cháng)度尺寸測量的二維平面坐標位置測量?jì)x。

該儀器能檢測各種形狀復雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,特別是精密零部件的微觀(guān)檢測與質(zhì)量控制,

適用于產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、逆向工程、品質(zhì)檢測等領(lǐng)域。比起傳統的工具顯微鏡和投影儀,

在硬件上增加了CCD攝像傳感器、數顯化光柵位置輸出裝置及自動(dòng)定位伺服控制系統,在測量或軟件功能上,

具有自動(dòng)對焦、自動(dòng)瞄準及各種復雜自動(dòng)計算處理特點(diǎn)。電子和圖像處理技術(shù)的發(fā)展應用,

為影像測量?jì)x的多功能、高精度和自動(dòng)化程度提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐作用。

應用于工廠(chǎng)現場(chǎng)測量的影像測量?jì)x,通常其分辨力為0.001mm,測量不確定度一般為(3+L/200)μm左右,

其中L為測量長(cháng)度(mm),應用于精密計量、量值傳遞等高精度測量領(lǐng)域的影像測量?jì)x,測量不確定度一般優(yōu)于(1.0+L/300)μm。

影像測量?jì)x的結構組成及光學(xué)原理特點(diǎn)

影像測量?jì)x一般由機械、照明、測長(cháng)、圖像采集、計算機和測量軟件等六部分組成。

影像測量?jì)x的光學(xué)原理與普通投影儀很類(lèi)似,區別在于影像前者被測件的輪廓影像被CCD傳感器接收并由計算機進(jìn)行圖像采集和處理,

后者則直接把影像投射到投影觀(guān)測屏,輪廓對準有操作者的人眼完成,因而導致兩者測量精度和自動(dòng)化程度相差很大。

影像測量?jì)x一般具有較大的測量范圍,通常配備有(0.7x~4.5x)的變焦物鏡,照明光源除了常見(jiàn)的底光和頂光外,還有環(huán)形照明光,

適合于底光和頂光都不能有效照明時(shí)應用。

影像測量?jì)x的誤差來(lái)源

在影像測量?jì)x上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時(shí)先對焦,后對準,再讀數(計數),最后計算處理。

讀數來(lái)自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠顯微鏡光學(xué)系統,還有一個(gè)直接影響測量效果和精度的照明光源,

因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。

除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。

基于上述分析,可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源:

a、光柵計數尺的誤差;

b、工作臺移動(dòng)時(shí)存在的直線(xiàn)度、角擺帶來(lái)的誤差;

c、工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差;

d、顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差;

e、測量室溫度帶來(lái)的誤差;

f、光源照明條件的變化帶來(lái)的對焦和對準誤差。

在這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),

一般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差,通過(guò)控制測量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。