測量工業(yè)顯微鏡

OLS 4500使無(wú)縫觀(guān)測和測量成為可能立即找到感興趣的區域
測量工業(yè)顯微鏡OLS 4500可以快速定位感興趣的區域，使用各種類(lèi)型的無(wú)縫放大觀(guān)測，將物體保持在視場(chǎng)內。

采用白色LED作為光源，保證彩色圖像清晰，具有良好的色彩再現性。這四個(gè)目標使人們能夠在從低到高的各種放大范圍內進(jìn)行觀(guān)察。OLS 4500充分利用光學(xué)顯微鏡的特點(diǎn)，能夠進(jìn)行BF(Brightfield)觀(guān)察-常用的差分干涉對比度(DIC)觀(guān)測，通過(guò)增強對比度，實(shí)現精細表面紋理的立體可視化，并簡(jiǎn)化了偏振光觀(guān)測，反映了不同顏色樣品的偏振特性。其他功能包括高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)，它通過(guò)改變曝光時(shí)間來(lái)合成幾幅圖像，以獲得亮度平衡和紋理增強的圖像。OLS 4500可以使用各種觀(guān)測方法快速找到感興趣的區域。

 BF亮場(chǎng)
廣泛使用的觀(guān)測方法。
色彩逼真的自然形象
復制。適用于高對比度樣品的觀(guān)察。

  迪奇

差分干擾對比度
增強對比度，使立體
無(wú)法用BF觀(guān)察到的樣品的可視化。適用于金屬結構、硬盤(pán)和拋光晶圓表面等鏡面樣品的缺陷和雜質(zhì)的檢測。

 簡(jiǎn)化偏振光
用反射偏振光(具有特定振動(dòng)方向的光)顯示樣品的偏振特性(例如折射率)。適用于觀(guān)察金屬表面、礦物和半導體材料。

高動(dòng)態(tài)范圍
通過(guò)合成幾幅圖像來(lái)平衡觀(guān)察明亮和黑暗區域
不同的曝光時(shí)間。精細的觀(guān)察也是
可能通過(guò)增強紋理(表面條件)。

LSM可以用光學(xué)顯微鏡可視化無(wú)法觀(guān)察到的東西。

由于波長(cháng)較短的405 nm激光，高孔徑(高口徑)物鏡和共焦光學(xué)，具有很高的X-Y分辨率，使光學(xué)顯微鏡下不可見(jiàn)的物體在清晰的圖像中被觀(guān)察到。激光DIC觀(guān)測使對納米微表面的實(shí)時(shí)觀(guān)察成為可能。

測量工業(yè)顯微鏡[方法]用SPM快速、準確地處理感興趣的區域。

無(wú)縫放大觀(guān)測將物體保持在視場(chǎng)內

四個(gè)目標，從低到高的放大安裝在機動(dòng)旋轉噴嘴與SPM單元。50倍和100倍的現場(chǎng)觀(guān)察模式使用光學(xué)顯微鏡或LSM將SPM掃描區域放置在場(chǎng)的中心。通過(guò)在區域上設置目標標記并切換到探針掃描模式，可以準確地接近感興趣區域。這意味著(zhù)一次SPM掃描就可以得到目標圖像，提高了工作效率，減少了懸臂梁的磨損。

方便切換到SPM觀(guān)測的指南

SPM觀(guān)測的準備工作，如懸臂安裝和掃描面積設置，可以通過(guò)引導顯示進(jìn)行，這意味著(zhù)即使是經(jīng)驗較少的操作人員也可以安全地進(jìn)行初步工作。

[納米法測量】簡(jiǎn)單操作的快速測量

降噪SPM磁頭

緊湊型SPM掃描儀頭

OLS 4500采用鼻片式SPM掃描儀頭。由于目標和懸臂端在同軸、旁焦定位中，即使切換到SPM模式，觀(guān)察點(diǎn)也不會(huì )從視野中消失。緊湊型SPM頭提高了剛度，降低了圖像噪聲，提高了響應能力。

按要求放大區域的導航器

導航器功能允許通過(guò)進(jìn)一步提高放大率來(lái)更近地查看用探針掃描模式獲取的圖像中所需的區域。通過(guò)簡(jiǎn)單設置光標放大區域和啟動(dòng)探針掃描即可獲得目標圖像。掃描區域可以自由設置，使觀(guān)察和測量能夠更快、更有效地進(jìn)行。

導航儀放大10μm x 10μm圖像上的3.5μm x 3.5μm區域

滿(mǎn)足不同要求的分析

曲率測量(硬盤(pán)凹坑)

在SPM測量模式下采集的圖像可以進(jìn)行分析，以適應不同應用的需要，結果可以作為CSV格式輸出。OLS 4500提供以下分析功能。

• 輪廓(曲率因子測量，包含角度測量)
• 粗糙度
• 地形(面積、表面、體積、高度、直方圖、方位比)
• 臺階(線(xiàn)、面積)
• 粒子分析(可選)
• 六種SPM測量模式，易于跟蹤制導顯示。

接觸方式

該模式通過(guò)懸臂梁靜態(tài)掃描設定區域，同時(shí)保持懸臂和試樣之間的排斥力，以直觀(guān)地顯示樣品的高度信息。它也可用于力曲線(xiàn)的測量。

金屬薄膜

動(dòng)態(tài)模式

該振型使懸臂梁在諧振頻率附近振動(dòng)，并控制Z方向距離使振動(dòng)振幅常數，從而直觀(guān)地顯示樣品的高度信息。適用于具有柔軟表面的樣品，如聚合物或粘性材料。

鋁表面

相位模式

該模式在動(dòng)態(tài)模式掃描過(guò)程中檢測懸臂梁振動(dòng)的相位延遲。它可以直觀(guān)地顯示樣品表面物理性質(zhì)的差異。

聚合物膜

電流模式

該模式對樣品施加偏置電壓，以檢測和可視化懸臂梁和樣品之間的電流流動(dòng)。它也可用于I/V測量。

硅襯底上SiO 2圖案的樣品。高度圖像(左)中的黃色區域是SiO 2，在當前圖像(右)中顯示藍色(沒(méi)有電流的區域)。這些圖像表明，基板具有無(wú)電流的區域。

表面勢模(KFM)

該模式通過(guò)導電懸臂梁施加交流電壓，檢測懸臂梁與樣品之間的靜電作用力，并將樣品表面的電勢可視化。它也被稱(chēng)為開(kāi)爾文力顯微鏡(KFM)模式。

磁帶樣本。表面電位圖像表明，幾百mV的電位差分布在樣品表面。這種分布被認為是在磁帶表面的潤滑層中存在不規則現象。

磁力模式(MFM)

該模式以相位模式掃描磁化懸臂梁的設定區域，檢測懸臂梁振動(dòng)中的相位延遲，然后將樣品表面的磁信息可視化。它也被稱(chēng)為磁力顯微鏡(MFM)模式。

硬盤(pán)樣本。圖像顯示了磁性能的分布。

LSM允許靈活地處理各種樣本。

成像斜率達85°

由于具有高數值孔徑的物鏡和通過(guò)405 nm激光獲得優(yōu)異性能的光學(xué)系統，OLS 4500能夠可靠地測量以前無(wú)法測量的銳角樣品。

LEXT物鏡

銳角剃刀

高分辨率微輪廓測量

利用波長(cháng)為405 nm的短波激光和高孔徑物鏡，可獲得0.12μ的X-Y分辨率。因此，OLS 4500可以對樣品表面進(jìn)行亞微米測量。結合高精度線(xiàn)性比例尺和奧林巴斯原始強度檢測技術(shù)，這允許高清晰度成像，能夠準確測量從亞微米到數百微米范圍的高度。此外，OLS 4500還能保證測量值的“精度”，即測量值與其真實(shí)值的距離有多近，以及指示重復測量值之間的變化程度的“重復性”，兩者都顯示了測量工具的性能。

0.12μm線(xiàn)與空間模式

(MPLAPON50XLEXT)
臺階高度標準B型，PTB-5，Institut für Mikroelektronik，德國

廣域內的任何圖像采集區域

雖然高倍圖像的視場(chǎng)一般較窄，但OLS 4500的拼接功能可以通過(guò)625幅圖像的拼接，提供高分辨率、寬視場(chǎng)的圖像數據。獲得的寬視場(chǎng)圖像可以進(jìn)行三維顯示和三維測量.