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STM7測量顯微鏡

產(chǎn)品時(shí)間:2024-04-15

簡(jiǎn)要描述:

STM7測量顯微鏡具有多功能性,可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無(wú)論樣品大或小,簡(jiǎn)單或復雜,初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測量,可以配置滿(mǎn)足您需要的測量顯微鏡。

STM7測量顯微鏡用途

具有多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無(wú)論待測樣品是大的還是小的,測量?jì)热菔呛?jiǎn)單的還是復雜的,測量人員是新手還是專(zhuān)家,能滿(mǎn)足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

STM7測量顯微鏡觀(guān)察性能

STM7系列采用了當前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2校正光學(xué)系統。因此,觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現對微小細節的高精度測量。 

 

明場(chǎng)圖像
明場(chǎng)圖像

暗場(chǎng)圖像
暗場(chǎng)圖像

微分干涉圖像
微分干涉圖像

偏光圖像
偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

FEM分析
 

STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,同時(shí)確保地降低誤差。

作為高度測量的先鋒,繼續提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測量

跟蹤對焦光路
 

主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統光路

隨著(zhù)現代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量。以此響應了這種與日俱增的需求。

嚴格的可追溯系統確保品質(zhì)可靠

可追溯系統圖
 

測量顯微鏡溯源系統

奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的準確度。 并且在安裝系統時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。

STM7在設計上非常重視易用性 
提供適合您樣品尺寸的載物臺
常見(jiàn)問(wèn)題

短測量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測量需求。 
目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉樣品來(lái)補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時(shí),效率不高。 

由于可測量的范圍窄,無(wú)法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實(shí)現一次性同時(shí)測量。

STM7解決方案

共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會(huì )適合您要測量的樣品。 
采用離合器系統可以在粗調和微調之間實(shí)現快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著(zhù)X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。 

300 mm長(cháng)的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著(zhù)可以不旋轉樣品就實(shí)現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 

 

 

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