激光共聚焦顯微鏡

激光共聚焦顯微鏡OLS5000可觀(guān)察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線(xiàn)到面的表面粗糙度。配備的兩套光學(xué)系統（彩色成像光學(xué)系統和激光共焦光學(xué)系統）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000的關(guān)鍵

捕捉任意表面形狀。

快速獲得可靠數據。

使用簡(jiǎn)單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

測量具有挑戰性的樣品。

價(jià)值1：捕捉任意表面形狀。 

OLS5000顯微鏡使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。

價(jià)值2、快速獲得可靠數據

 該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡(jiǎn)化您的工作流程，實(shí)現生產(chǎn)力的提升。

價(jià)值3、使用簡(jiǎn)單，只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數據采集功能，因而無(wú)需進(jìn)行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶(hù)也可以獲得準確的檢測結果。

價(jià)值4、可測量具有挑戰性的樣品

低輸出、非接觸式無(wú)損激光測量意味著(zhù)不需要樣品制備?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品，而超長(cháng)工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類(lèi)樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺上即可。

獲取彩色信息
彩色成像光學(xué)系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著(zhù)波長(cháng)的減小而獲得提升。采用短波長(cháng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光（峰值550納米）的傳統顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(cháng)激光二極管獲得橫向分辨率。

激光共焦光學(xué)系統

激光共焦光學(xué)系統僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線(xiàn)，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線(xiàn)。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

X-Y掃描儀

OLS5000顯微鏡配有光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

高度測量原理

在測量高度時(shí)，顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據非連續的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個(gè)像素的光強變化曲線(xiàn)（I-Z曲線(xiàn)），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類(lèi)似，通過(guò)峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴展圖像）。