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3D輪廓測量顯微鏡

產(chǎn)品時(shí)間:2024-04-16

簡(jiǎn)要描述:

3D輪廓測量顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識別,邊緣修正技術(shù),可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍(光學(xué)&amp;lt;2000X.視頻&amp;lt;10000x)情況下電鏡的理想替代。遠遠超出常規平面檢測(包括電鏡)的范圍。將光學(xué)顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術(shù)的發(fā)展。

3D輪廓測量顯微鏡

系統輕松解決以上不足,*突破顯微鏡的光學(xué) 固有限制??梢栽?0秒之內得到樣品的三維立體圖像??梢暂p松的對樣品不同高度進(jìn)行優(yōu)質(zhì)成 像,得到平面優(yōu)質(zhì)圖片,繼而構建3D模型,并通過(guò)智能測量模式,準確測量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時(shí),本系統還提供共焦點(diǎn)云的全自由度模型三維觀(guān)察使得用戶(hù)能夠從任意角度觀(guān)察樣品,系統通過(guò)一體化的設計,可以實(shí)現高速自動(dòng)顯微鏡3D觀(guān)察、測量。

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3D輪廓測量顯微鏡技術(shù)要求

光源是數碼成像的基礎之一,正確匹配的照明模式是展現樣品細節的必需條件,系統所采用的照明裝置,均為機器視覺(jué)系統所用光源。具有光譜范圍廣,色彩真實(shí),形態(tài)多樣,長(cháng)壽命(大于3萬(wàn)小時(shí)),根據不同用途,有多種結構設計,能組建復式照明技術(shù),配合數字消光技術(shù)(HDR),能展現樣品細節。



高精度壓電位移平臺實(shí)現納米級運動(dòng):

全新的壓電位移平臺可實(shí)現納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應速度、簡(jiǎn)便的控制方式、通過(guò)超薄的設計,減輕了整體重量,在運動(dòng)中具有*準確性,與光譜共焦技術(shù)實(shí)現結合,可實(shí)行大范圍精準掃描,得到計量級結果


光譜共焦技術(shù)具有*泛的材質(zhì)適應性、穩定性、檢測效率:

基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭,具有廣泛的測量適應性,除常規材料之外,即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料,透明膠水層、薄膜材料均能實(shí)現有效的測量,其Z向分辨率可達到10nm以下,配合高精度的壓電位移臺,能對樣品實(shí)現大面積準確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學(xué)景深圖像融合,最終得到計量級的彩色3D模型。



技術(shù)參數


PZ-CS3500H(手動(dòng))

PZ-CS3500A(全自動(dòng))

光學(xué)系統

光學(xué)系統

無(wú)限遠共軛防塵光學(xué)系統

變焦倍率

12:1 超大變倍比

變焦方式

電動(dòng)變焦

工作距離

80mm 標準1X物鏡,24X-280時(shí)

倍數識別

自動(dòng)識別放大倍率

顯微相機

圖像傳感器

1/1.8英寸,高速彩色CMOS芯片,1000萬(wàn)像素

幀速率

60幀/秒

圖像分辨率

最高1000萬(wàn)像素(4400X2300)

色彩還原

高性能色彩引擎Ultra-FineTM還原技術(shù)

HDR功能

支持

照明裝置

視覺(jué)照明器

高亮度LED照明

光源壽命

30000小時(shí)(設計值)

照明方法

明場(chǎng)

標準 同軸光源模式

暗場(chǎng)

單光源 常規觀(guān)察模式

雙光源系統   常規+深孔觀(guān)察模式

斜射

四分區照明模式(軟件控制)

偏光

標準(可選)

微分干涉

標準 微分干涉需選擇專(zhuān)用干涉鏡頭(可選)

透射

標準(可選)

聚焦與行程

聚焦方式

手動(dòng)聚焦+自動(dòng)聚焦

電動(dòng)行程

電動(dòng)升降120mm,最大可觀(guān)察150mm高度樣品

觀(guān)察角度

支座垂直與傾斜

垂直觀(guān)察模式/傾斜觀(guān)察模式(-90o- +90o)

平臺旋轉

載物平臺360o旋轉觀(guān)察

傾斜角度顯示

不支持

支持(可選)

光學(xué)物鏡組

低倍觀(guān)察物鏡

1X標準物鏡 工作距離90mm
  (0.5X可選)工作距離140mm

手持觀(guān)察物鏡

0-250X放大倍率  智能顯示倍數,接觸式穩定觀(guān)察 聚焦性質(zhì) :一鍵式自動(dòng)聚焦功能

高倍觀(guān)察物鏡

LY-LENS5X

LY-LENS10X

LY-LENS20X

LY-LENS50X

LY-LENS100X

長(cháng)工作距離
  NA:0.15
  116X-812X

長(cháng)工作距離
  NA:0.3
  232X-1624

長(cháng)工作距離
  NA:0.45
  472X-3248X

長(cháng)工作距離
  NA:0.55
  1180X-8120X

長(cháng)工作距離
  NA:0.8
  2320X-16240X

光譜傳感器

白光干涉原理

0.1mm-25mm量程,最高分辨率0.2nm,多種型號(選配)

精密平臺

行程范圍

手動(dòng)單模式 70mmX50mm

雙模式:手動(dòng)70mmx50mm
  自動(dòng)平臺110mmX70MM

平臺精度

0.1mm

壓電位移臺:50nm

承重最大值

2KG

2.5KG

3D觀(guān)測

3D超景深

單視野3D觀(guān)測

單視野觀(guān)測、3D拼接觀(guān)測

顯示

分辨率

24寸顯示器 1920X1080高清觀(guān)察











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